离子渗氮是在真空炉体内，通过稀薄气体放电，形成由离子、电子和中性粒子所构成的局部电离状态，这些都是在辉光离子渗氮炉中进行的，那如何获得等离子体呢？
我们想要获得等离子体，就需要使中粒子电离，使中性粒子电离的方法由很多，包括：低气压气体放电获得等离子体，离子氮化炉就是这种方法；利用高能粒子的方法；利用电磁波能量的方法。等离子体在宏观角度上它是电中性的，等离子体就是电离的气体，其中电子和离子的电荷总数基本相等，所以可以认为是中性的，等离子体的导电率比较高，它虽然是电中性的，但里面包含了大量的电子离子，且浓度很高，所以具有很好的导电性。
离子渗氮也有很多的优点：一、渗氮速度快，等离子体可以是工件表面活化，加速吸收，可以大大缩短渗氮的时间；渗层组织易于控制脆性小；工件变形小，渗氮的速度快，渗氮的时间短，在低温下进行的，所以产品一般不会产生太大的变形，不会影响到后续的使用；节能，省气，因为它的渗氮时间短，扩散的也比较快，所以可以节省电能。